Измерение и контроль расхода

Компания Horiba STEC является одним из главных мировых производителей высокоточного оборудования для контроля расхода и состава газа и жидкости. Компания стала первым разработчиком цифровых и компактных расходомеров и регуляторов расхода, которые в настоящее время стали де-факто стандартом в высокотехнологичных отраслях промышленности. Технологии современных полупроводниковых устройств перешли на нано-технологический уровень. Это означает, что производственные процессы в этой области требуют особо точного контроля газов и жидкостей для создания тонких пленок, а также компактных устройств мониторинга, которые позволяют контролировать процессы, происходящие непосредственно внутри производственной камеры.

Контроллеры массового расхода газа (РРГ)

• Цифровые контроллеры массового расхода
• Cуперчистая цельнометаллическая серия
• Промышленная серия

Массовые регуляторы расхода жидкостей (РРЖ)

• Массовые расходомеры и регуляторы расхода жидкостей (РРЖ) серии LF/LV