Принцип действия : Датчик регулятора расхода жидкости (РРЖ) серии LF/ LV состоит из электронного охлаждающий элемент (элемент Пельтье), находящегося в контакте с капиллярной трубкой, а также нескольких температурных датчиков. При протекании жидкости датчик фиксирует рост температуры (dТ), соответствующий расходу и показывает значение в единицах расхода. В отличие от методов, где используется нагревание жидкости, метод измерения с охлаждением позволяет измерять расход жидкостей с низкой температурой кипения. Этот метод также позволяет избежать проблем связанных с помехами, возникающими вследствие испарения, и значительно повышает точность делать измерений.
Устройство и принцип работы РРЖ серии LV: РРЖ серии LV аналогичен регулятору серии LF, при этом в него дополнительно включен клапан с пьезоприводом и внутренний контрольный контур сравнения. Контроллеры этой серии сравнивают установленный сигнал расхода и сигнал расхода на выходе и автоматически контролируют проходное отверстие клапана так, чтобы оба сигнала были равны. Поскольку они используют систему контроля с обратной связью, расход жидкости не изменяется и стабилен, несмотря на влияние внешних факторов. Это позволяет проводить точный контроль расхода. Использование контрольного клапана с пьезоприводом, обладающего стабильностью и не выделяющим тепло, делает эти приборы идеальными для контроля жидкостей с низкой температурой кипения.
Технические характеристики
Модель | LF- F20M-A | LF- F30M-A | LF- F40M-A | LF- F50M-A | LF- F60M-A | LV- F20 (РO/MO) | LV- F30 (PO/MO) | LV- F40 (РO/MO) | LV- F50 (PO/MO) | LV- F60 (PO/MO) | |
Расход | 0,02/0,05/0,1 | 0,2/0,5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 | 0,02/0,05/0,1 | 0,2/0,5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 | |
Диапазон измерения | От 5 до 100% F.S.* | ||||||||||
Используемые жидкости*1 | Все жидкости, кроме коррозионных к нержавеющей стали (например, HCl и HF) | ||||||||||
Вязкость*2 | макс. 0,1 Па·с (100 cp) | макс. 0,01 Па·с (10 cp) | |||||||||
Точность*3 | ±1% F.S. | ||||||||||
Линейность | ±0,5% F.S. | ||||||||||
Воспроизводимость | ±0,5% F.S. | ||||||||||
Время отклика*4 | Менее 3 секунд (T98) | Менее 2 секунд (T98) | Менее 3 секунд (T98) | Менее 2 секунд (T98) | |||||||
Рабочая температура*5 | От 5 до 50°С (гарантированная точность между 15 и 45°С) | ||||||||||
Температурный коэффициент | ±0,1% F.S./°С макс.±1% | ||||||||||
Рабочее давление*6 | Макс. 5 МПа (как расходомер)/ от 50 до 300 кПа (с контрольным пьезо клапаном) | От 0,05 до 0,3 МПа | |||||||||
Перепад давления*7 | макс. 500 Па | – | |||||||||
Сигнал расхода | Аналоговый: от 0 до 5 В Цифровой RS485 | ||||||||||
Источник питания | +15 В±5% 200 мА -15 В±5% 200 мА | ||||||||||
Натекание | 5×10-12 Па·м3/с (He) | Тип PO менее чем 1×10-8 Па·м3/с (He)Тип MO менее чем 5×10-12 Па·м3/с (He) | |||||||||
Материал в контакте с жидкостью | SUS316L, Ni | Тип PO SUS316L, Ni, PTFE, PFA Тип MO SUS316L, Ni | |||||||||
Стандартное соединение | 1/16”, 1/8” уплотняемый в ручную, 1/8” VCR | 1/8” уплотняемый в ручную, 1/8” VCR | 1/4” уплотняемый в ручную, 1/4” VCR | 1/16”, 1/8” уплотняемый в ручную, 1/8” VCR | 1/8” уплотняемый в ручную, 1/8” VCR | 1/4” уплотняемый в ручную, 1/4” VCR |
*F.S. – полная шкала измерения *1 Для серий LF/LV калибровка расхода производится с использованием заданного типа жидкости (Указывайте тип используемой жидкости при заказе прибора) – жидкости содержащие твердую фазу не измеряются – Проконсультируйтесь с поставщиком, если планируете использовать прибор со смесью жидкостей, состав которой может меняться. – При использовании приборов типа LV для измерения жидкости содержащей мелкие частицы, установите фильтр 0,2 мкм (Abs) с основной стороны.
*2 Приборы типа LV в зависимости от расхода могут применяться при максимальной вязкости 0,01 Па·с. Проконсультируйтесь с поставщиком, если планируете использовать прибор для жидкостей с высокой вязкостью.
*3 Характеристики точности, линейности и повторяемости гарантируются при калибровки жидкости на основании SEMI E56-1296.
*4 Эта характеристика корректируется функцией AUTO-PID с контрольным пьезо клапаном.
*5 Обеспечивайте надлежащим образом точность измерения, следите чтобы температура входящей жидкости была не ниже 10°С и не выше 3°С температуры окружающей среды.
*6 Характеристика рабочего давления соответствует диапазону давления при котором вязкость жидкости 0,001 Па·с.
*7 Характеристика перепада давления определена при введении жидкости (вязкость 0,001 Па·с) при 100% F.S. точки измерения.
группа компаний
КРИОСИСТЕМЫ
© 2002-2020
ГК «КРИОСИСТЕМЫ»
Все права защищены
Оборудование
- вакуумное
- криогенное
- вакуумно-термическое
О компании
- дипломы и сертификаты
- вакансии
Наши проекты
- имитаторы космического пространства
- работы на промышленных установках различных ведомств
- исследовательские установки для высокотехнологичных применений
- криогенные установки и исследовательские низкотемпературные криостаты
Услуги
- сертифицированный ремонт и обслуживание
- ввод оборудования в эксплуатацию
- разработка и изготовление вакуумного оборудования
Контакты
111250, Россия, Москва
БЦ "Интеграл", проезд Завода Серп и Молот,
д.10, офис 404 (4-й этаж)
+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67