Система вакуумной откачки, разработанная и смонтированная сотрудниками ГК Криосистемы, обеспечивает выход установки полезным объемом 40 м3 с атмосферного на рабочее давление (1х10-4 Торр) менее чем за 20 минут.
Форвакуумная система откачки камеры выполнена на базе безмасляных винтовых насосов:
Высоковакуумная система откачки камеры выполнена на базе турбомолекулярных насосов и криогенного насоса с суммарной производительностью, обеспечивающей требуемое время откачки объема вакуумной камеры в соответствии с заданием Заказчика.
Вакуумная система обеспечивает откачку воздуха и поддержание рабочего давления в камере в во время технологического процесса. Все вакуумпроводы выполнены из нержавеющей стали.
В проекте использована вакуумная коммутационные арматура и производства компании Highlight Tech Corp (HTC):
Производитель: Ионный Имплантер IMC-200 компании IBS (France)
Спецификация
Газовые линии:
Источники:
Диапазон энергий:
Загрузка:
Фото установки:
Внешний вид | Карусель и источник | Загрузка пластин на карусель |
Комплектация ТВУ:
Основные технические характеристики:
Термостол и переходная плита для размещения образцов произведены компанией HTC одновременно с вакуумной камерой, что исключает возможность любых несоответствий, которые могут происходить при производстве камеры за рубежом, а термостола и плиты –в России. Компания HTC имеет большие производственные возможности, и термостолы HTC отличаются высоким качеством и точностью исполнения, что позволяет гарантированно достичь нужных температурных параметров на термостоле, с высокой точностью.
ТВУ укомплектована надежным оборудованием ведущих мировых производителей. В процессе проработки проекта наши инженеры согласовывали и учитывали технические нюансы, требования и пожелания Заказчика. Установка разработана в индивидуальном порядке по ТЗ и максимально адаптирована под конкретные задачи.
Нашей компанией проведено оборудование исследовательскими вакуумными установками лаборатории в одном из исследовательских центров в области аэрокосмической техники. В данный момент в данной лаборатории установлено две вакуумных установки.
Работы проводились в три этапа, по мере поступления финансирования Заказчику и изменения требований к системам по результатам уже проведенных исследований. При этом по завершении каждого этапа Заказчик получал завершенные, готовые к эксплуатации системы.
На первом этапе была разработана, изготовлена и запущена в эксплуатацию вакуумная установка для испытаний прототипов ионных двигателей. Вакуумная камера была изготовлена по ТЗ заказчика. В подвальном помещении, находящемся под лабораторией, были установлена система форвакуумной откачки (используется сухой вакуумный насос Kashiyama MU-1203), чиллер и компрессор для питания пневмосистемы. Форвакуумная линия и прочие коммуникации были протянуты до основной камеры. Для высоковакуумной откачки на камере был установлен криогенный насос CTI Onboard 400. Управление всей системой откачки автоматизировано, осуществляется с сенсорного монитора, установленного на стойке управления. Предусмотрены режимы автоматической откачки и ручной режим. В ручном режиме управления с сенсорного экрана осуществляется непосредственное управление каждым элементом системы откачки, но для защиты от ошибочных действий предусмотрены блокировки. Непосредственно под вакуумной камерой было подготовлено место для размещения высоковольтного оборудования Заказчика, для чего смонтировано защитное ограждение с обесточиванием высоковольтного оборудования при снятии ограждения.
На втором этапе проведена замена выработавшей ресурс системы откачки на имевшейся в данной лаборатории вакуумной установке. Фактически заменена вся вакуумная система за исключением непосредственно вакуумной камеры. Установлен новый диффузионный насос, заменен высоковакуумный затвор, для форвакуумной откачки (также в подвальном помещении) установлен насос Kashiyama MU-603, смонтирована новая форвакуумная линия. Форвакуумные линии обоих установок были соединены, что позволяет в случае неисправности одного из насосов использовать один форвакуумный насос на обе установки. В подвальном помещении установлен еще один чиллер для охлаждения данного оборудования. Управление данной установкой также автоматизировано, система управления аналогична системе на первой установке. Также в подвальном помещении установлен дополнительный компрессор и система воздухоподготовки (осушки) для обеспечения продувки форвакуумных насосов и регенерации крионасоса.
На третьем этапе проведена доработка первой установки. За счет установки дополнительной секции увеличен объем вакуумной камеры. Всвязи с увеличением плановой газовой нагрузки, установлены дополнительные высоковакуумные насосы – турбомолекулярный и и специализированный ксеноновый крионасос. Для съема тепловой нагрузки в камере установлены водоохлаждаемые экраны. В подвальном помещении установлен чиллер повышенной холодопроизводительности, с размещенным на улице внешним блоком. Всвязи с изменением системы откачки также переработана система управления.
В настоящее время на установке проведено тестовое осаждение сверхпроводящей пленки титана, заказчик весьма доволен полученным с первой же попытки результатом.
В состав комплекса входят: установка пульсационно – лазерного осаждения с 2я каналами ввода излучения, магнетроном., RHEED пушкой, установка атомно-слоевого осаждения, между ними смонтирована установка спектроскопии вторичных ионов. Образец после загрузки в шлюз может быть перемещен в ростовую камеру, и затем нанесенный слой исследован на установке SIMS. При интеграции были решены задачи по предотвращению загрязнения SIMS при транзите образца и исследовании слоев наносимых в ALD.
Полученный масс-спектр с образца алюминиевой фольги:
Задача Заказчика:
Заказчик создал источник плазмы и ему требовалось проанализировать наличие и момент появления высокоэнергетичных ионов из источника.
Для нас ставилась задача создания времяпролетного масс – спектрометра для определения относительных интенсивностей положительно заряженных ионов исходящих из источника плазмы в диапазоне масс 1-6 a.e.m.
Второй задачей было измерение энергетического распределения этих ионов.
Третья задача – наличие источника ударной электронной ионизации на входе спектрометра для характеризации нейтральных газов в источнике плазмы.
Решение, предложенное Заказчику:
Созданный масс-спектрометр основан на «ортогональной экстракции ионов» при использовании стандартного рефлектрона, дизайн выполнен для сверх-высоковакуумного применения с фланцами типа CF.
Схема прибора:
Краткая спецификация прибора:
Временное разрешение | 0,25 нс |
Макс.темп подсчета | >17 000 000 имп/с (теоретически) >4 000 000 имп/с (измерено) |
Макс. скорость повторения раб. циклов | >1 МГц (железо) 200 кГц (софт) |
Мертвое время между циклами | 36 нс перед циклом и 4 нс после |
Временная точность | |
Ожидаемое разрешение | 1300 – 1500 FWHM |
Откачка системы полностью сухая и состоит из
турбомолекулярного насоса Shimadzu на магнитной
подвеске и сухого насоса японской компании Kashiyama.
Ссылка на описание установки (на английском языке).. |
Установка может работать с образцами 25 х 50 мм и на ней можно получать одно-и многослойные графеновые пленки, также на ней можно провести осаждение графена на расплаве металла.
группа компаний
КРИОСИСТЕМЫ
© 2002-2020
ГК «КРИОСИСТЕМЫ»
Все права защищены
Оборудование
- вакуумное
- криогенное
- вакуумно-термическое
О компании
- дипломы и сертификаты
- вакансии
Наши проекты
- имитаторы космического пространства
- работы на промышленных установках различных ведомств
- исследовательские установки для высокотехнологичных применений
- криогенные установки и исследовательские низкотемпературные криостаты
Услуги
- сертифицированный ремонт и обслуживание
- ввод оборудования в эксплуатацию
- разработка и изготовление вакуумного оборудования
Контакты
111250, Россия, Москва
БЦ "Интеграл", проезд Завода Серп и Молот,
д.10, офис 404 (4-й этаж)
+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67